5月9日音讯，据集微网报说念，“据报说念，上海微电子装备(集团)股份有限公司(SMEE)自主研发的系列28nm浸没式DUV光刻机，近日完成首批批量委派，参加量产工艺考证阶段。”

在该音讯发布之后，坐窝激发了业内的热议。然而，芯智讯在过程与光刻机及晶圆制造企业相关东说念主士疏通后发现，该著述里面天职容似乎存在不少事实问题。

1、集微的报说念并未给出具体的信源，只说“据报说念”，到底是据哪家委果的媒体报说念，根柢没提。这不适合这种新闻的严肃性。

2、报说念称“2026年1月，上海微电子在长三角半导体产业峰会上，初次官宣SSA800系列罢了全面量产。”

然而，这个所谓的“长三角半导体产业峰会”根柢莫得任何泰斗媒体的相关报说念，也查不到具体的举办时辰、场所、附近方及与会嘉宾和企业。更别说什么“上海微电子官宣”了，上海微电子的官方从未讲求泄漏过上述音讯。

诚然网上大略找到本年1月一些自媒对于“长三角半导体产业峰会”的音讯，然而也一起王人是与“上海微电子官宣SSA800系列量产”绑定的信息。那时，笔者也关联注到过这个音讯，2026在线买世界杯中国区平台然而以为是“小作文”，商场也有过一轮基于这个音讯炒作光刻机倡导股。

3、报说念还指出“2026年3月，在SEMICON China2026海外半导体博览会上，上海微电子初次公开展示了该机型。”

关联词，芯智讯在SEMICON China2026海外半导体博览会有去过上海微电子的展台，现场根柢就莫得展示所谓的样机。何况在展会期间和展会收尾后的一段时辰，也根柢莫得相关媒体报说念此事。

△芯智讯在SEMICON China2026展会上海微电子展台拍摄的相片

4、报说念称“SSA800系列接管193nm ArF浸没式光刻时期，单次曝光原生复古28nm制程，博亚体育可通过多重曝光工艺褂讪罢了 14nm 乃至更先进的工艺分娩。缔造套刻精度收尾在2.3~2.5nm，量产良率褂讪在90%~95%区间，每小时可措置150片晶圆。”

据芯智讯了解，SSA800内容上等于近几年商场一直别传的国产“28nm光刻机”，是一款193nm ArF浸没式光刻机，对方向是ASML TWINSCAN NXT:1950i。尔后者的专用卡盘套刻精度为2.5nm，羼杂匹配套刻精度为3.5nm，每小时可措置200片晶圆。是以，说SSA800系列套刻精度收尾在2.3~2.5nm，每小时可措置150片晶圆，应该是大差不差。

不外，说SSA800系列的“量产良率褂讪在90%~95%区间”似乎是有点离谱了。因为光刻机自身并莫得所谓的“量产良率”的说法。

一位光刻机厂商里面东说念主士对芯智讯直言：“这是假音讯，光刻机那边来的良率。”即便说的是在产线上替代ASML光刻机后芯片最终产出的量产良率也很夸张。

要知说念台积电的28nm是在2011年量产的，之后资历较长的良率爬坡阵痛期。2012年上半年，英伟达和高通王人曾公开牢骚良率不及、产能吃紧。到2012年8月，中国台湾媒体财征引供应商音讯称良率已进步至逾越80%。

一位国内晶圆代工场里面东说念主士告诉芯智讯，当今SSA800系列并未参加国内的营业化晶圆厂，似乎已经在“ICRD”进行测磨练证。是以何来的量产批量委派，何来的“90%~95%”量产良率？

期盼国产光刻机得回冲破，是每一个珍摄中国科技发展的东说念主最朴素的面貌。咱们渴慕看到“卡脖子”清单上的名目被一项项划掉，也渴慕听到国产缔造在先进制程上得回冲破的音讯。然而，这种渴慕越是激烈，就越应该守住感性的底线。造作的、自嗨的音讯，伤害的是公众对简直发挥的判断力博亚体育，也箝制了产业链高下贱一步一个脚印攻坚的严肃性。信得过的解围，从来不需要靠造作的“放卫星”来讲明我方，时辰会给出最淳厚的谜底。